真空渗碳炉，也称为低压渗碳或LPC。在该设备工作原理，将气体（例如乙炔）作为分压引入热区，温度通常在1,600和1,950°F（870和1070℃）之间。气体分解成其组成元素（在这种情况下为碳和氢）。然后碳扩散到部件的表面区域中。通常重复该功能，改变气体输入的持续时间和扩散时间。旦工作负荷被适当地“装箱”，则使用油或高压气体（HPGQ）淬火金属。对于HPGQ，通常使用氮气或更快的淬火氦气。

真空渗碳炉结构与井式气体渗碳炉类似，为圆形井式外壳密封焊接。由炉壳、炉衬、炉盖升降机构、真空密封风机、马弗罐及加热元件等组成。炉衬是由高纯陶瓷全 纤维保温结构，更加节能节电。渗碳炉升降机构上同样断电保护装置，当炉盖打开时自动切断控温柜主回路电源，渗碳炉停止工作，炉盖压紧关闭时自动接通回路， 渗碳炉才能开始工作，有效防止了安全操作事故。

真空渗碳炉是在真空容器中，利用辉光放电使渗碳气体电离，所产生的碳离子在电场作用下轰击炉料表面进行渗碳的热处理炉。